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產品詳情
簡單介紹：
緊湊型真空泵FV-60（高真空型）
詳情介紹：
緊湊型真空泵FV-60（高真空型）的特點
- 通過將隔膜安裝在密閉空間內，分兩級減壓，具有串聯結構。
- HEPA過濾器安裝在進氣和排氣部分。也可用于潔凈室。此外，通過主機的透明窗口可以看到過濾器，因此您可以知道何時更換它。
- 處理范圍相當于*大 12 英寸的硅晶圓。
規格
|
代碼 |
FV-60 |
|
姓名 |
真空泵FV-60 |
|
額定電壓 |
AC-100V(50Hz) |
|
能量消耗 |
10.0W |
|
極限吸氣壓力 |
-85kPa |
|
流量 |
2.5升/分鐘 |
|
尺寸 |
長137×寬88×高133（毫米） |
|
大量的 |
1.250克 |
|
耐力時間 |
超過 9,000 小時 |
|
使用極限溫度 |
40℃ |
注1：泵流量和極限吸入壓力值為50Hz時的值。在 60Hz 下使用時大約減少 20%。
*此數據供國內使用。
*此數據供國內使用。
泵緩沖器
