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和連續光譜，將其從氙氣燈的UV范圍內的紅外區域，是在超高壓UV燈的UV區域中結合了高能量的燈。相比超高壓UV燈，高強度光源在約230納米?320納米的短波長區域發光的大量。光化學反應并使用短波長，UV固化，并且以這樣的光刻使用。
